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Conference papers

Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO2 : Application à l'automatisation des procédés

Résumé : L'automatisation de certains précédés nécessite de disposer de micro-capteurs de gaz. Un exemple d'un tel capteur à base de SnO2 friité est décrit du point de vue technologique ainsi qu'au niveau de ses performances. Afin de se satisfaire à certaines contraintes de miniaturisation, il apparaît nécessaire de développer des capteurs en couches minces. Cependant le manque de sélectivité de ces couches a conduit à l'utilisation de couches "filtres" déposées au-dessus des couches SnO2. Parmi les couches métalliques testées, on peut noter que le palladium ainsi que le platine permettent d'améliorer la sélectivité vis-à-vis de l'alcool. D'autres solutions utilisant des couches intermédiaires de SiO2 sont actuellement en cours d'étude.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/EMSE-00435516
Contributor : Andrée-Aimée Toucas <>
Submitted on : Monday, July 15, 2013 - 4:07:05 PM
Last modification on : Wednesday, August 5, 2020 - 3:50:43 AM
Long-term archiving on: : Wednesday, October 16, 2013 - 2:40:11 AM

File

RPGP-1997-11-56-MICC.pdf
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Identifiers

  • HAL Id : EMSE-00435516, version 1

Citation

Christophe Pijolat, Muriel Sauvan, Jean Durand. Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO2 : Application à l'automatisation des procédés. Proceedings 6ème Congrès Génie des Procédés, Sep 1997, Paris, France. pp.37-42. ⟨EMSE-00435516⟩

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