Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO2 : Application à l'automatisation des procédés

Résumé : L'automatisation de certains précédés nécessite de disposer de micro-capteurs de gaz. Un exemple d'un tel capteur à base de SnO2 friité est décrit du point de vue technologique ainsi qu'au niveau de ses performances. Afin de se satisfaire à certaines contraintes de miniaturisation, il apparaît nécessaire de développer des capteurs en couches minces. Cependant le manque de sélectivité de ces couches a conduit à l'utilisation de couches "filtres" déposées au-dessus des couches SnO2. Parmi les couches métalliques testées, on peut noter que le palladium ainsi que le platine permettent d'améliorer la sélectivité vis-à-vis de l'alcool. D'autres solutions utilisant des couches intermédiaires de SiO2 sont actuellement en cours d'étude.
Type de document :
Communication dans un congrès
Proceedings 6ème Congrès Génie des Procédés, Sep 1997, Paris, France. pp.37-42, 1997
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Contributeur : Andrée-Aimée Toucas <>
Soumis le : lundi 15 juillet 2013 - 16:07:05
Dernière modification le : mercredi 29 novembre 2017 - 10:06:35
Document(s) archivé(s) le : mercredi 16 octobre 2013 - 02:40:11

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  • HAL Id : EMSE-00435516, version 1

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Citation

Christophe Pijolat, Muriel Sauvan, Jean Durand. Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO2 : Application à l'automatisation des procédés. Proceedings 6ème Congrès Génie des Procédés, Sep 1997, Paris, France. pp.37-42, 1997. 〈EMSE-00435516〉

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