Développement d'un pré-concentrateur miniaturisé en technologie silicium pour la détection de substances chimiques à l'état de traces

Résumé : L'objectif principal de cette étude est le développement d'un dispositif de pré-concentration basé sur une technologie de microréacteur en silicium. Les applications visées concernent les systèmes miniaturisés de détection de traces gazeuses, soit en pollution atmosphérique, soit pour la détection d'explosifs. Pour cela, une poudre de carbone est utilisée comme matériau adsorbent, et les dispositifs ont été testés sous benzène. Les composants sont constitués de micro-canaux en silicium obtenus par gravures DRIE. Ils sont équipés de capillaires métalliques et d'un micro-chauffage. Une partie de l'étude porte sur le dépôt par méthode fluidique de la poudre de carbone dans les micro-canaux. Un intérêt particulier de l'étude concerne l'utilisation de silicium poreux pour augmenter la quantité de carbone déposé. Les tests de faisabilité sous benzène permettent de vérifier l'effet de pré-concentration recherché.
Type de document :
Communication dans un congrès
Michel Cournil. 11ème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, Oct 2007, Saint-Étienne, France. SFGP (Société Française de Génie des Procédés), 96, pp.Thème 1 Article 400, 2007
Liste complète des métadonnées

Littérature citée [10 références]  Voir  Masquer  Télécharger

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00432376
Contributeur : Andrée-Aimée Toucas <>
Soumis le : lundi 16 novembre 2009 - 12:28:34
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:21:23
Document(s) archivé(s) le : jeudi 17 juin 2010 - 18:24:41

Fichier

CP-Th1-Art400.pdf
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Identifiants

  • HAL Id : emse-00432376, version 1

Citation

Christophe Pijolat, El Hadji Malick Camara, Jean-Paul Viricelle, Guy Tournier, Philippe Breuil, et al.. Développement d'un pré-concentrateur miniaturisé en technologie silicium pour la détection de substances chimiques à l'état de traces. Michel Cournil. 11ème Congrès de la Société Française de Génie des Procédés, Oct 2007, Saint-Étienne, France. SFGP (Société Française de Génie des Procédés), 96, pp.Thème 1 Article 400, 2007. 〈emse-00432376〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

374

Téléchargements de fichiers

347