Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO<sub>2</sub> : Application à l'automatisation des procédés - Mines Saint-Étienne Access content directly
Conference Papers Year : 1997

Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO2 : Application à l'automatisation des procédés

Abstract

L'automatisation de certains précédés nécessite de disposer de micro-capteurs de gaz. Un exemple d'un tel capteur à base de SnO2 friité est décrit du point de vue technologique ainsi qu'au niveau de ses performances. Afin de se satisfaire à certaines contraintes de miniaturisation, il apparaît nécessaire de développer des capteurs en couches minces. Cependant le manque de sélectivité de ces couches a conduit à l'utilisation de couches "filtres" déposées au-dessus des couches SnO2. Parmi les couches métalliques testées, on peut noter que le palladium ainsi que le platine permettent d'améliorer la sélectivité vis-à-vis de l'alcool. D'autres solutions utilisant des couches intermédiaires de SiO2 sont actuellement en cours d'étude.
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Dates and versions

emse-00435516 , version 1 (15-07-2013)

Identifiers

  • HAL Id : emse-00435516 , version 1

Cite

Christophe Pijolat, Muriel Sauvan, Jean Durand. Amélioration de la sélectivité de microcapteurs de gaz SnO2 : Application à l'automatisation des procédés. Proceedings 6ème Congrès Génie des Procédés, Sep 1997, Paris, France. pp.37-42. ⟨emse-00435516⟩
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