Nanoindentation de couches dures ultramines de ruthénium sur or

Brice Arrazat 1, * Vincent Mandrillon 2 Karim Inal 1
* Auteur correspondant
1 PS2-ENSMSE - Département Packaging et Supports Souples
2 LCFM/LETI
Type de document :
Communication dans un congrès
Materiaux 2010, Oct 2010, Nantes, France. pp.0641, 2010
Liste complète des métadonnées
https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00533722
Contributeur : Karim Inal <>
Soumis le : lundi 8 novembre 2010 - 11:36:12
Dernière modification le : mardi 23 octobre 2018 - 14:36:05

Identifiants

  • HAL Id : emse-00533722, version 1

Collections

CEA | EMSE | CMP-ENSMSE | PS2-ENSMSE

Citation

Brice Arrazat, Vincent Mandrillon, Karim Inal. Nanoindentation de couches dures ultramines de ruthénium sur or. Materiaux 2010, Oct 2010, Nantes, France. pp.0641, 2010. 〈emse-00533722〉

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