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Conference papers

Modèle conceptuel d'une unité de fabrication microélectronique

Résumé : La modélisation des systèmes de production est difficile en raison du nombre et de la diversité des paramètres à prendre en compte et de la complexité des relations entre ces paramètres. Dans cet article, nous nous intéressons à l'étude d'une unité complètement automatisée de fabrication de wafers semi-conducteurs (fab). Dans la littérature, leur analyse est très souvent réalisée en utilisant des modèles de simulation à événements discrets, mais ces travaux ne présentent pas une véritable conceptualisation du modèle utilisé. L'objectif de cet article est de conceptualiser, à travers des méthodologies formelles, tous les composants d'une unité de production microélectronique: au niveau macro, le système physique de production et son système de supervision, ainsi que, au niveau micro, le processus de fabrication. Ces approches nous aideront à identifier les objets du modèle et leurs interactions permettant ensuite de développer un programme de simulation pour l'analyser du fonctionnement dynamique du system.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00712640
Contributor : Florent Breuil <>
Submitted on : Wednesday, June 27, 2012 - 3:48:24 PM
Last modification on : Wednesday, July 8, 2020 - 12:42:12 PM

Identifiers

  • HAL Id : emse-00712640, version 1

Citation

Jairo R. Montoya-Torres, L. Vermarien, Jean−pierre Campagne, Hélène Marian. Modèle conceptuel d'une unité de fabrication microélectronique. 5e conférence francophone de Modélisation et Simulation (MOSIM'04), Sep 2004, Nantes, France. p. 703-710. ⟨emse-00712640⟩

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