Modèle conceptuel d'une unité de fabrication microélectronique - Mines Saint-Étienne Access content directly
Conference Papers Year : 2004

Modèle conceptuel d'une unité de fabrication microélectronique

Abstract

La modélisation des systèmes de production est difficile en raison du nombre et de la diversité des paramètres à prendre en compte et de la complexité des relations entre ces paramètres. Dans cet article, nous nous intéressons à l'étude d'une unité complètement automatisée de fabrication de wafers semi-conducteurs (fab). Dans la littérature, leur analyse est très souvent réalisée en utilisant des modèles de simulation à événements discrets, mais ces travaux ne présentent pas une véritable conceptualisation du modèle utilisé. L'objectif de cet article est de conceptualiser, à travers des méthodologies formelles, tous les composants d'une unité de production microélectronique: au niveau macro, le système physique de production et son système de supervision, ainsi que, au niveau micro, le processus de fabrication. Ces approches nous aideront à identifier les objets du modèle et leurs interactions permettant ensuite de développer un programme de simulation pour l'analyser du fonctionnement dynamique du system.
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Dates and versions

emse-00712640 , version 1 (27-06-2012)

Identifiers

  • HAL Id : emse-00712640 , version 1

Cite

Jairo R. Montoya-Torres, L. Vermarien, Jean−pierre Campagne, Hélène Marian. Modèle conceptuel d'une unité de fabrication microélectronique. 5e conférence francophone de Modélisation et Simulation (MOSIM'04), Sep 2004, Nantes, France. p. 703-710. ⟨emse-00712640⟩
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