Design and operation of automated material handling systems for IC wafer semiconductor manufacturing - Mines Saint-Étienne
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Design and operation of automated material handling systems for IC wafer semiconductor manufacturing

Domaines

Modélisation et simulation

Florent Breuil  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00712654

Soumis le : mercredi 27 juin 2012-16:13:58

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:54

Fichier non déposé

Dates et versions

emse-00712654 , version 1 (27-06-2012)

Identifiants

  • HAL Id : emse-00712654 , version 1

Citer

Jairo R. Montoya-Torres, L. Vermarien, Jean−pierre Campagne, Hélène Marian. Design and operation of automated material handling systems for IC wafer semiconductor manufacturing. 2nd International Industrial Simulation Conference 2004 (ISC'2004), Jun 2004, Malaga, Spain. p. 175-179. ⟨emse-00712654⟩

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