Equipment Health Diagnosis and Prognosis using a Wavelet-based Windowing Approach in Semiconductor Manufacturing

Type de document :
Communication dans un congrès
Advanced Process Control Conference, Oct 2017, Austin,TX, United States
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01621977
Contributeur : Hamideh Rostami <>
Soumis le : lundi 23 octobre 2017 - 21:56:46
Dernière modification le : mardi 23 octobre 2018 - 14:36:10

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  • HAL Id : emse-01621977, version 1

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Citation

Hamideh Rostami, Jakey Blue, Claude Yugma. Equipment Health Diagnosis and Prognosis using a Wavelet-based Windowing Approach in Semiconductor Manufacturing. Advanced Process Control Conference, Oct 2017, Austin,TX, United States. 〈emse-01621977〉

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