Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Stéphane Dauzère-Pérès : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792282
Soumis le : mardi 15 mai 2018-12:56:43
Dernière modification le : samedi 22 avril 2023-04:32:19
Citer
Alejandro Sendon, Stéphane Dauzère-Pérès, Jacques Pinaton. Simulation model to control risk levels on process equipment through metrology in semiconductor manufacturing. 2015 Winter Simulation Conference (WSC), Dec 2015, Huntington Beach, United States. ⟨10.1109/WSC.2015.7408397⟩. ⟨emse-01792282⟩
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