Simulation model to control risk levels on process equipment through metrology in semiconductor manufacturing - Mines Saint-Étienne
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Simulation model to control risk levels on process equipment through metrology in semiconductor manufacturing

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792282

Soumis le : mardi 15 mai 2018-12:56:43

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:56

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Dates et versions

emse-01792282 , version 1 (15-05-2018)

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Citer

Alejandro Sendon, Stéphane Dauzère-Pérès, Jacques Pinaton. Simulation model to control risk levels on process equipment through metrology in semiconductor manufacturing. 2015 Winter Simulation Conference (WSC), Dec 2015, Huntington Beach, United States. ⟨10.1109/WSC.2015.7408397⟩. ⟨emse-01792282⟩

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