Integration of scheduling and advanced process control in semiconductor manufacturing: review and outlook - Mines Saint-Étienne
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Integration of scheduling and advanced process control in semiconductor manufacturing: review and outlook

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792294

Soumis le : mardi 15 mai 2018-13:01:43

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:32

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Dates et versions

emse-01792294 , version 1 (15-05-2018)

Identifiants

Citer

Claude Yugma, Jakey Blue, Stéphane Dauzère-Pérès, Philippe Vialletelle. Integration of scheduling and advanced process control in semiconductor manufacturing: review and outlook. 2014 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE), Aug 2014, Taipei, Taiwan. ⟨10.1109/CoASE.2014.6899310⟩. ⟨emse-01792294⟩

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