Modeling complex processability constraints in high-mix semiconductor manufacturing

Type de document :
Communication dans un congrès
2013 Winter Simulation Conference - (WSC 2013), Dec 2013, Washington, United States. IEEE, 〈10.1109/WSC.2013.6721732〉
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792312
Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:14:24
Dernière modification le : vendredi 15 mars 2019 - 01:14:32

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Ahmed Ben Amira, Stéphane Dauzère-Pérès, Philippe Lalevee, Guillaume Lepelletier, Philippe Vialletelle, et al.. Modeling complex processability constraints in high-mix semiconductor manufacturing. 2013 Winter Simulation Conference - (WSC 2013), Dec 2013, Washington, United States. IEEE, 〈10.1109/WSC.2013.6721732〉. 〈emse-01792312〉

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