A dispatcher simulator for a photolithography workshop

Type de document :
Communication dans un congrès
2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, Jun 2007, Stresa, France. IEEE, 〈10.1109/ASMC.2007.4595692〉
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792347
Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:36:32
Dernière modification le : lundi 25 février 2019 - 10:26:08

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Claude Yugma, Romain Riffart, Stéphane Dauzère-Pérès, Philippe Vialletelle, Francois Buttin. A dispatcher simulator for a photolithography workshop. 2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, Jun 2007, Stresa, France. IEEE, 〈10.1109/ASMC.2007.4595692〉. 〈emse-01792347〉

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