Importance of Qualification Management for Wafer Fabs

Type de document :
Communication dans un congrès
2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, Jun 2007, Stresa, France. IEEE, 〈10.1109/ASMC.2007.375107〉
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Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:44:03
Dernière modification le : mardi 23 octobre 2018 - 14:36:10

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Carl Johnzén, Stéphane Dauzère-Pérès, Philippe Vialletelle, Claude Yugma. Importance of Qualification Management for Wafer Fabs. 2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, Jun 2007, Stresa, France. IEEE, 〈10.1109/ASMC.2007.375107〉. 〈emse-01792361〉

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