Impact of integrating equipment health in production scheduling for semiconductor fabrication - Mines Saint-Étienne
Article Dans Une Revue Computers & Industrial Engineering Année : 2018

Impact of integrating equipment health in production scheduling for semiconductor fabrication

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01793390

Soumis le : mercredi 16 mai 2018-14:56:59

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:32

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Dates et versions

emse-01793390 , version 1 (16-05-2018)

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Citer

Yu-Ting Kao, Stéphane Dauzère-Pérès, Jakey Blue, Shi-Chung Chang. Impact of integrating equipment health in production scheduling for semiconductor fabrication. Computers & Industrial Engineering, 2018, 120, pp.450 - 459. ⟨10.1016/j.cie.2018.04.053⟩. ⟨emse-01793390⟩

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