A Structure Data-Driven Framework for Virtual Metrology Modeling - Mines Saint-Étienne
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Automation Science and Engineering Année : 2019

A Structure Data-Driven Framework for Virtual Metrology Modeling

Wei-Ting Yang
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1065888
Jakey Blue
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 2172
  • IdHAL : jakey-blue
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Agnès Roussy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866543
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Jacques Pinaton
  • Fonction : Auteur
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STMicroelectronics
Marco Reis
  • Fonction : Auteur

Domaines

Automatique Analyse de données, Statistiques et Probabilités [physics.data-an]

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Soumis le : jeudi 5 mars 2020-14:28:59

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:11

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Dates et versions

emse-02499670 , version 1 (05-03-2020)

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Citer

Wei-Ting Yang, Jakey Blue, Agnès Roussy, Jacques Pinaton, Marco Reis. A Structure Data-Driven Framework for Virtual Metrology Modeling. IEEE Transactions on Automation Science and Engineering, 2019, pp.1-10. ⟨10.1109/TASE.2019.2941047⟩. ⟨emse-02499670⟩

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