Advanced run-to-run controller in semiconductor manufacturing with real-time equipment condition - Mines Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Advanced run-to-run controller in semiconductor manufacturing with real-time equipment condition

Wei-Ting Yang
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1065888
Jakey Blue
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 2172
  • IdHAL : jakey-blue
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Agnès Roussy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866543
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Marco Reis
  • Fonction : Auteur
University of Coimbra [Portugal]
Jacques Pinaton
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 914679
STMicroelectronics

Domaines

Analyse de données, Statistiques et Probabilités [physics.data-an]

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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-02499715

Soumis le : jeudi 5 mars 2020-14:40:19

Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:23

Fichier non déposé

Dates et versions

emse-02499715 , version 1 (05-03-2020)

Identifiants

Citer

Wei-Ting Yang, Jakey Blue, Agnès Roussy, Marco Reis, Jacques Pinaton. Advanced run-to-run controller in semiconductor manufacturing with real-time equipment condition. 2018 29th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), Apr 2018, Saratoga Springs, United States. pp.346-352, ⟨10.1109/ASMC.2018.8373161⟩. ⟨emse-02499715⟩

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