Influence des paramètres d'élaboration de couches minces de SnO<sub>2</sub> sur les performances électriques. Application à la détection des gaz. - Mines Saint-Étienne Access content directly
Journal Articles Annales de Chimie - Science des Matériaux Year : 1994

Influence des paramètres d'élaboration de couches minces de SnO2 sur les performances électriques. Application à la détection des gaz.

Abstract

Influence of elaboration parameters on the electrical properties of SnO2 thin films. Application to gas detection, SnO2 thin films present a great enterest for gas sensors. This study is devoted to the comparison of electrical performances of thin films obtained with two methods: reactive evaporation and CVD. The possibilities to control and adjust the microstructure and the textures of the films are described. The influence of the deposition canditions on the electrical properties of the film is also addressed.
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Dates and versions

emse-00435108 , version 1 (23-11-2009)

Identifiers

  • HAL Id : emse-00435108 , version 1

Cite

Christophe Pijolat, Laurent Bruno, René Lalauze. Influence des paramètres d'élaboration de couches minces de SnO2 sur les performances électriques. Application à la détection des gaz.. Annales de Chimie - Science des Matériaux, 1994, 20, pp.449-452. ⟨emse-00435108⟩
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