Intégration de l'Ordonnancement et du Contrôle Avancé des Procédés dans la Fabrication des Semi-conducteurs

Boris Detienne 1 Claude Yugma 1 Ariane Ferreira 1
1 SFL-ENSMSE - Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00464045
Contributor : Sabine Salmeron <>
Submitted on : Monday, March 15, 2010 - 5:34:17 PM
Last modification on : Thursday, October 17, 2019 - 12:36:32 PM

Identifiers

  • HAL Id : emse-00464045, version 1

Collections

EMSE | CMP-ENSMSE | SFL-ENSMSE | INSTITUT-TELECOM

Citation

Boris Detienne, Claude Yugma, Ariane Ferreira. Intégration de l'Ordonnancement et du Contrôle Avancé des Procédés dans la Fabrication des Semi-conducteurs. QUALITA 2009. 8ème édition du Congrès international pluridisciplinaire en Qualité et Sûreté de Fonctionnement., Mar 2009, Besançon, France. ⟨emse-00464045⟩

Export

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Share

Metrics

Record views

94

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD