Intégration de l'Ordonnancement et du Contrôle Avancé des Procédés dans la Fabrication des Semi-conducteurs

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Conference papers
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00464045
Contributor : Sabine Salmeron <>
Submitted on : Monday, March 15, 2010 - 5:34:17 PM
Last modification on : Monday, November 26, 2018 - 4:12:03 PM

Identifiers

  • HAL Id : emse-00464045, version 1

Citation

Boris Detienne, Claude Yugma, Ariane Ferreira. Intégration de l'Ordonnancement et du Contrôle Avancé des Procédés dans la Fabrication des Semi-conducteurs. QUALITA 2009. 8ème édition du Congrès international pluridisciplinaire en Qualité et Sûreté de Fonctionnement., Mar 2009, Besançon, France. ⟨emse-00464045⟩

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