Renaud Vayrette, Sylvain Blayac, Christian Rivero, Karim Inal. Contraintes résiduelles dans les interconnexions submicroniques. Prise en compte des dimensions des lignes de cuivre par microcapteurs embarqués.
Congrès Français de Mécanique CFM'2009, Aug 2009, Marseille, France. pp.1326, 2009.
〈emse-00466583〉