Communication Dans Un Congrès
Année : 2010
Ariane Ferreira : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00554221
Soumis le : lundi 10 janvier 2011-14:56:49
Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:36
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : emse-00554221 , version 1
Citer
Ariane Ferreira, Christelle Kernaflen, Laurent Bucelle, Quentin Mathian, Stéphane Decorme. Virtual Metrology Models for Predicting Overlay of Photolithography Process. AEC / APC 2010 (11th European Advanced Equipment Control / Advanced Process Control), Apr 2010, catane, Italy. ⟨emse-00554221⟩
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