Equipment Anomaly Detection and Automatic Fault Fingerprint Extraction in Semiconductor Manufacturing

Type de document :
Communication dans un congrès
International Symposium on Semiconductor Manufacturing Intelligence (ISMI) , Aug 2016, Hsinchu, Taiwan
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01621968
Contributeur : Hamideh Rostami <>
Soumis le : lundi 23 octobre 2017 - 21:45:37
Dernière modification le : lundi 30 octobre 2017 - 10:07:28

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  • HAL Id : emse-01621968, version 1

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Citation

Hamideh Rostami, Jakey Blue, Claude Yugma. Equipment Anomaly Detection and Automatic Fault Fingerprint Extraction in Semiconductor Manufacturing. International Symposium on Semiconductor Manufacturing Intelligence (ISMI) , Aug 2016, Hsinchu, Taiwan. 〈emse-01621968〉

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