Smart dynamic sampling for wafer at risk reduction in semiconductor manufacturing

Type de document :
Communication dans un congrès
2014 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE), Aug 2014, Taipei, France. IEEE, 〈10.1109/CoASE.2014.6899414〉
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792292
Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:01:06
Dernière modification le : mardi 23 octobre 2018 - 14:36:10

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Sylvain Housseman, Stéphane Dauzère-Pérès, Gloria Rodriguez-Verjan, Jacques Pinaton. Smart dynamic sampling for wafer at risk reduction in semiconductor manufacturing. 2014 IEEE International Conference on Automation Science and Engineering (CASE), Aug 2014, Taipei, France. IEEE, 〈10.1109/CoASE.2014.6899414〉. 〈emse-01792292〉

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