A Batch Optimization Sofware for diffusion area scheduling in semiconductor manufacturing

Type de document :
Communication dans un congrès
2008 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), May 2008, Cambridge, France. IEEE, 〈10.1109/ASMC.2008.4529063〉
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792345
Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:34:31
Dernière modification le : lundi 25 février 2019 - 10:26:08

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Claude Yugma, Stéphane Dauzère-Pérès, Alexandre Derreumaux, Olivier Sibille. A Batch Optimization Sofware for diffusion area scheduling in semiconductor manufacturing. 2008 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), May 2008, Cambridge, France. IEEE, 〈10.1109/ASMC.2008.4529063〉. 〈emse-01792345〉

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