A Batch Optimization Sofware for diffusion area scheduling in semiconductor manufacturing - Mines Saint-Étienne
Communication Dans Un Congrès Année : 2008

A Batch Optimization Sofware for diffusion area scheduling in semiconductor manufacturing

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792345

Soumis le : mardi 15 mai 2018-13:34:31

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:46:09

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Dates et versions

emse-01792345 , version 1 (15-05-2018)

Identifiants

Citer

Claude Yugma, Stéphane Dauzère-Pérès, Alexandre Derreumaux, Olivier Sibille. A Batch Optimization Sofware for diffusion area scheduling in semiconductor manufacturing. 2008 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), May 2008, Cambridge, France. ⟨10.1109/ASMC.2008.4529063⟩. ⟨emse-01792345⟩

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