Feed-forward run-to-run control for reduced parametric transistor variation in CMOS logic 0.13μm technology - Mines Saint-Étienne
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Feed-forward run-to-run control for reduced parametric transistor variation in CMOS logic 0.13μm technology

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792352

Soumis le : mardi 15 mai 2018-13:37:59

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-15:45:01

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Dates et versions

emse-01792352 , version 1 (15-05-2018)

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Citer

Nader Jedidi, Pascal Sallagoity, Agnès Roussy, Stéphane Dauzère-Pérès, Jacques Pinaton. Feed-forward run-to-run control for reduced parametric transistor variation in CMOS logic 0.13μm technology. 2007 International Symposium on Semiconductor Manufacturing, Oct 2007, Santa Clara, France. ⟨10.1109/ISSM.2007.4446831⟩. ⟨emse-01792352⟩

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