Feed-forward run-to-run control for reduced parametric transistor variation in CMOS logic 0.13μm technology

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Communication dans un congrès
2007 International Symposium on Semiconductor Manufacturing, Oct 2007, Santa Clara, France. IEEE, 〈10.1109/ISSM.2007.4446831〉
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792352
Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:37:59
Dernière modification le : mardi 23 octobre 2018 - 14:36:10

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Nader Jedidi, Pascal Sallagoity, Agnès Roussy, Stéphane Dauzère-Pérès, Jacques Pinaton. Feed-forward run-to-run control for reduced parametric transistor variation in CMOS logic 0.13μm technology. 2007 International Symposium on Semiconductor Manufacturing, Oct 2007, Santa Clara, France. IEEE, 〈10.1109/ISSM.2007.4446831〉. 〈emse-01792352〉

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