Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Importance of Qualification Management for Wafer Fabs

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Soumis le : mardi 15 mai 2018-13:44:03

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emse-01792361 , version 1 (15-05-2018)

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Citer

Carl Johnzén, Stéphane Dauzère-Pérès, Philippe Vialletelle, Claude Yugma. Importance of Qualification Management for Wafer Fabs. 2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, Jun 2007, Stresa, France. ⟨10.1109/ASMC.2007.375107⟩. ⟨emse-01792361⟩

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