A physics-informed Run-to-Run control framework for semiconductor manufacturing - Mines Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Expert Systems with Applications Année : 2020

A physics-informed Run-to-Run control framework for semiconductor manufacturing

Wei-Ting Yang
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1065888
Jakey Blue
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 2172
  • IdHAL : jakey-blue
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Agnès Roussy
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866543
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Jacques Pinaton
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 914679
STMicroelectronics [Rousset]
Marco Reis
  • Fonction : Auteur
University of Coimbra [Portugal]

Domaines

Apprentissage [cs.LG]

Wei-Ting Yang  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-02703773

Soumis le : lundi 1 juin 2020-14:28:02

Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:23

Fichier non déposé

Dates et versions

emse-02703773 , version 1 (01-06-2020)

Identifiants

Citer

Wei-Ting Yang, Jakey Blue, Agnès Roussy, Jacques Pinaton, Marco Reis. A physics-informed Run-to-Run control framework for semiconductor manufacturing. Expert Systems with Applications, 2020, 155, pp.113424. ⟨10.1016/j.eswa.2020.113424⟩. ⟨emse-02703773⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

EMSE INSTITUT-TELECOM SFL-ENSMSE
57 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More