Design and operation of automated material handling systems for IC wafer semiconductor manufacturing

Type de document :
Communication dans un congrès
J. Marin; V. Koncar. 2nd International Industrial Simulation Conference 2004 (ISC'2004), Jun 2004, Malaga, Spain. EUROSIS-ETI, p. 175-179, 2004
Liste complète des métadonnées

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-00712654
Contributeur : Florent Breuil <>
Soumis le : mercredi 27 juin 2012 - 16:13:58
Dernière modification le : mercredi 31 octobre 2018 - 12:24:08

Identifiants

  • HAL Id : emse-00712654, version 1

Citation

Jairo R. Montoya-Torres, L. Vermarien, Jean−pierre Campagne, Hélène Marian. Design and operation of automated material handling systems for IC wafer semiconductor manufacturing. J. Marin; V. Koncar. 2nd International Industrial Simulation Conference 2004 (ISC'2004), Jun 2004, Malaga, Spain. EUROSIS-ETI, p. 175-179, 2004. 〈emse-00712654〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

73