Equipment Deterioration Prognosis and Fault Diagnosis in Semiconductor Manufacturing - Mines Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Equipment Deterioration Prognosis and Fault Diagnosis in Semiconductor Manufacturing

Hamideh Rostami
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1021551
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Jakey Blue
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 2172
  • IdHAL : jakey-blue
Département Sciences de la Fabrication et Logistique
Claude Yugma
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 868326
Département Sciences de la Fabrication et Logistique

Domaines

Intelligence artificielle [cs.AI] Base de données [cs.DB] Traitement du signal et de l'image [eess.SP]

Hamideh Rostami  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01621974

Soumis le : lundi 23 octobre 2017-21:54:22

Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:23

Fichier non déposé

Dates et versions

emse-01621974 , version 1 (23-10-2017)

Identifiants

  • HAL Id : emse-01621974 , version 1

Citer

Hamideh Rostami, Jakey Blue, Claude Yugma. Equipment Deterioration Prognosis and Fault Diagnosis in Semiconductor Manufacturing. European advanced process control and manufacturing (apc|m) Conference, Apr 2017, Dublin, Ireland. ⟨emse-01621974⟩

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