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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Impact of control plan design on tool risk management: A simulation study in semiconductor manufacturing

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792321

Soumis le : mardi 15 mai 2018-13:19:50

Dernière modification le : mardi 28 février 2023-15:36:23

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Dates et versions

emse-01792321 , version 1 (15-05-2018)

Identifiants

Citer

Gloria Luz Rodriguez Verjan, Stéphane Dauzère-Pérès, Jacques Pinaton. Impact of control plan design on tool risk management: A simulation study in semiconductor manufacturing. 2011 Winter Simulation Conference - (WSC 2011), Dec 2011, Phoenix, France. ⟨10.1109/WSC.2011.6147905⟩. ⟨emse-01792321⟩

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