Impact of control plan design on tool risk management: A simulation study in semiconductor manufacturing

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Communication dans un congrès
2011 Winter Simulation Conference - (WSC 2011), Dec 2011, Phoenix, France. IEEE, 〈10.1109/WSC.2011.6147905〉
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https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-01792321
Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mardi 15 mai 2018 - 13:19:50
Dernière modification le : mardi 23 octobre 2018 - 14:36:10

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Gloria Luz Rodriguez Verjan, Stéphane Dauzère-Pérès, Jacques Pinaton. Impact of control plan design on tool risk management: A simulation study in semiconductor manufacturing. 2011 Winter Simulation Conference - (WSC 2011), Dec 2011, Phoenix, France. IEEE, 〈10.1109/WSC.2011.6147905〉. 〈emse-01792321〉

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