Impact of integrating equipment health in production scheduling for semiconductor fabrication

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Computers and Industrial Engineering, Elsevier, 2018, 120, pp.450 - 459. 〈10.1016/j.cie.2018.04.053〉
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Contributeur : Stéphane Dauzère-Pérès <>
Soumis le : mercredi 16 mai 2018 - 14:56:59
Dernière modification le : vendredi 15 mars 2019 - 01:14:46

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Yu-Ting Kao, Stéphane Dauzère-Pérès, Jakey Blue, Shi-Chung Chang. Impact of integrating equipment health in production scheduling for semiconductor fabrication. Computers and Industrial Engineering, Elsevier, 2018, 120, pp.450 - 459. 〈10.1016/j.cie.2018.04.053〉. 〈emse-01793390〉

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