Dynamic cloud-based computation for skipping lots in metrology : IE : Industrial Engineering - Mines Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Dynamic cloud-based computation for skipping lots in metrology : IE : Industrial Engineering

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Stéphane Dauzère-Pérès  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-emse.ccsd.cnrs.fr/emse-02873789

Soumis le : jeudi 18 juin 2020-15:20:39

Dernière modification le : samedi 22 avril 2023-04:29:58

Fichier non déposé

Dates et versions

emse-02873789 , version 1 (18-06-2020)

Identifiants

Citer

Etienne Le Quere, Stéphane Dauzère-Pérès, Stephane Astie, Cedric Maufront, Xavier Michallet, et al.. Dynamic cloud-based computation for skipping lots in metrology : IE : Industrial Engineering. 2019 30th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), May 2019, Saratoga Springs, United States. pp.1-5, ⟨10.1109/ASMC.2019.8791790⟩. ⟨emse-02873789⟩

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